EQUIPMENT
大学院棟(2F)- D210 実験室
マシニングセンタや研削盤などの工作機械をはじめ、自作の研磨装置がある実験室です。
- 工作機械
- 自作装置
高速高精度マシニングセンタ(キラ・コーポレーション製 Super Mill-2m)
CNC平面研削盤(ナガセインテグレックス製 SGT-315RPA)
内面研削盤(岡本工作機械製 IGM15EX)
超音波援用研磨装置(ポリッシャ)
MCF研磨装置
MCFホイール研磨装置
多軸制御MCF研磨装置
特別実験棟(1F)- J104 加工技術総合工場
シリコンウエハのエッジ研磨装置がある加工工場です。
- 自作装置
超音波援用固定砥粒CMP装置(エッジポリッシャ)
学部棟Ⅱ(5F)- GⅡ523 測定室/MT室
表面形状や表面粗さを測定したり、材料物性を評価する測定室です。
- 測定装置
電子線三次元粗さ解析装置(エリオニクス製 ERA-8900)
エネルギー分散型X線分析装置(アメテック製 Genesis APEX2)
走査電子顕微鏡(トプコン製 SM-200)
イオンコーター(エイコー製 IB-3)
走査型プローブ顕微鏡(セイコーインスツル製 SPI3800M)
マイクロビッカース硬さ試験機(ミツトヨ製 HM-200)
触針式表面形状測定機(テーラーホブソン製 Form Talysurf Intra)
非接触表面形状測定機(ザイゴ製 NewView 600S)
マイクロスコープ(キーエンス製 VHX-200)
レーザ顕微鏡(キーエンス製 VK-8710)
高速度カメラ(キーエンス製 VW-6000)
赤外線サーモグラフィ(チノー製 CPA-T440)
レーザドップラ振動計(小野測器製 LV-1610)
卓上試料研磨機(アイエムティー製 IM-P2)