秋田県立大学 地域連携・研究推進センターHOME研究紹介

プラズマの特長をもっと色んな分野に利用しよう
―プラズマによる新技術の開拓・従来技術の改良―

機械工学科 教授 杉本 尚哉

今進めていること

現在の社会では、新しい技術はもとより、従来技術についても「より環境にやさしい」「より効率的な」技術が求められていますが、「プラズマ」が持つ特長を利用してそのような技術を実現していこうとしています。

少々詳しく言うと・・・

例えば、金属加工品には様々な表面処理が施されますが、その前処理であるクリーニング処理には、有毒化学物質の使用、騒音の発生などの問題があります。その解決策として、真空中でのアーク放電プラズマ発生時の、陰極近辺の極めてエネルギー密度が高い状態を利用して汚れを蒸発して取り除く金属表面クリーニング法の開発など、プラズマによる従来技術の改良、新技術の開発に取り組んでいます。

ここまで到達したい!

前述の金属表面クリーニング技術の場合、高エネルギー密度状態を利用して、例えば有害物質による汚れをただ取り除くだけでなく、同時に分解して無害化したり、あるいは従来、化学的方法で行っていた材料表面への金属化合物の薄膜作成を、プラズマを利用するドライプロセスで行うことにより、廃液処理や洗浄工程を無くすとともに、新しい特性を持つ薄膜を作成するなど、従来の問題点を克服するだけでなく新たな付加価値を生み出すことも視野に入れて研究を行っています。

おまけの一言

学生時代はマイクロ波を利用する「電子サイクロトロン共鳴プラズマ生成法」、前勤務先では「低エネルギー・大電流電子ビームによるプラズマ生成法」など、プラズマ源の研究をしていたので、新しいプラズマ源の開発研究も行いたいと考えています。