教授　　加藤　正名
　　　　　■職歴　　／東北大学大学院工学研究科教授
　　　　　■学位　　／工学博士
　　　　　■出身大学／東北大学大学院工学研究科精密工学専攻
　　　　　■専門分野／機械要素，機械製作，リサイクル工学

准教授　呉　勇波
　　　　　■職歴　　／東北大学大学院工学研究科助手
　　　　　■学位　　／博士（工学）
　　　　　■出身大学／東北大学大学院工学研究科精密工学専攻
　　　　　■専門分野／精密加工，工作機械

助教　　野村　光由
　　　　　■学位　　／学士（工学）
　　　　　■出身大学／東北大学

スタッフ

楊　　衛平 超音波援用研磨によるシリコンウェーハエッジのトリートメントに関する基礎研究 研磨パッドに超音波楕円微振動を付加し，シリコンウェーハエッジ部の高能率高精度エコ研磨を試みる．
Yat Choy Wong MCFポリシングツールによる水晶ウェーハの薄膜化加工に関する研究 MCFを液体窒素により固化することによってMCFポリシングツールを作成し，水晶ウェーハの薄膜化加工に応用したときの研磨効率や到達平滑さを実験的に調査する．
MCF研磨液によるマイクロ複雑表面の研磨に関する研究 磁場に反応する磁気複合流体に研磨粒子を混入したMCF研磨液を微細溝など複雑パターンを有する表面の非接触式研磨加工に応用したときの基礎特性を実験的に調査する．

大学院２年

手塚　賢治 MCFポリシングツールによる水晶ウェーハの薄膜化加工に関する研究 MCFを液体窒素により固化することによってMCFポリシングツールを作成し，水晶ウェーハの薄膜化加工に応用したときの研磨効率や到達平滑さを実験的に調査する．
玉野　正憲 磁気力励振式超音波スピンドルの試作に関する研究 超音波援用加工に用いる超音波スピンドルの新しい励振法として，電磁気力による励振方法を提案し，この新しい原理に基づく超音波スピンドルを試作する．

大学院１年

古屋　壮俊 MCF研磨液によるマイクロ複雑表面の研磨に関する研究 磁場に反応する磁気複合流体に研磨粒子を混入したMCF研磨液を微細溝など複雑パターンを有する表面の非接触式研磨加工に応用したときの基礎特性を実験的に調査する．
松岡　邦宜 高分子材料の超音波接合に関する研究 厚さ0.5mm以下の薄い板材を超音波振動子に固定し，その両側面に接合させたい材料を押し付け，板材の高周波振動で瞬間的に発生する摩擦熱によって接合を行う．
小林　尚幹 超音波援用研磨によるシリコンウェーハエッジのトリートメントに関する基礎研究 研磨パッドに超音波楕円微振動を付加し，シリコンウェーハエッジ部の高能率高精度エコ研磨を試みる．

学部４年

川角幸之祐 MCFポリシングツールによる水晶ウェーハの薄膜化加工に関する研究 MCFを液体窒素により固化することによってMCFポリシングツールを作成し，水晶ウェーハの薄膜化加工に応用したときの研磨効率や到達平滑さを実験的に調査する．
坂野　　洋 小径内面の超音波振動援用研削に関する研究 小径砥石に超音波領域の微小振動を付加し，小径内面の精密加工技術を開発する．
砂地　浩之 センタレス研削における調整車摩擦係数のオンマシン測定法の開発 センタレス研削における工作物に対する調整車の制動力を左右する調整車の摩擦係数のオンマシン測定法を確立することを目指す．
住川　浩一 マイクロレーザ加工に関する研究 幅・深さ数十μmの微細流路，直径100μmの燃料噴射孔など高能率で精度良く加工する技術を開発する目的でスポット径数μmのレーザビームを工具にして微細加工を試みる．
中泉　　亘 平面研削研削盤を用いた超音波レギュレートセンタレス研削法の開発 超音波楕円振動シューを用いて加工物を保持・回転制御する超音波楕円振動シューセンタレス研削法に基づいて，平面研削盤でもセンタレス研削が可能な加工法を開発する．
藤原　　勇 超音波シュー心無し研削法による球体の創成加工に関する研究 超音波シュー心無し研削法の原理を利用し，新しい球体の創成加工技術の開発を目的に，超音波シューと非共振シューによる球体の２軸回転運動の制御装置を試作し，回転制御実験を行う．
望月　祐希 アッベ原理に基づいた卓上型精密センタレス研削盤の開発に関する基礎研究 アッベ原理に基づいて小型で剛性の高い精密加工機の開発を用途に，材料力学や有限要素法による構造の最適化を図る．また，タービン式エアスピンドルの設計を行う．試作されたモデル機について実験を行い解析結果を検証する．
横山　将太 磁気力励振式超音波スピンドルの試作に関する研究 超音波援用加工に用いる超音波スピンドルの新しい励振法として，電磁気力による励振方法を提案し，この新しい原理に基づく超音波スピンドルを試作する．